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台式石英腔体等离子清洗机

台式石英腔体等离子清洗机采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面 作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、 企业研发机构和实验室采用。

咨询热线:136-5250-9628
  • 外型尺寸:500*600*400mm(长*深*高)
  • 需求电源:220V(+10V)
  • 等离子源功率:300W(60%-100%连续可调)
  • 等离子源频率:13.56MHZ
  • 频率偏移量:小于0.2KHZ
  • 气体流量计:0-500ml/min(2路气体可调)
  • 气体流量控制:精密针阀式浮子流量计(2路)
  • 过程控制:自动/手动
  • 清洗时间:0-999S可调
  • 真空度:<80Pa
  • 内腔尺寸(圆形):直径160(直径)*210(深度)mm
  • 腔体材料:石英
  • 控制系统:PLC+触摸屏
产品优势:
1.清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间精确到秒
2.内置两路气路,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
3.实时观察腔体压力变化情况, 电流、电压实时监测,确保仪器稳定安全运行
4.石英材质真空腔体不与等离子体产生反应,不会污染样品
5.全程干燥的处理方式,不消耗水资源、无需添加化学药剂、不产生污染

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