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真空等离子清洗机

KZ-ZK100真空等离子清洗机是一款专为小批量样品表面改性处理,实现 清洁、改性、刻蚀的功效,具有移动方便,多种配置功能、稳定性及操 作方便的优势。

咨询热线:136-5250-9628
  • 射频电源:功率:0~600W 频率:13.56MHz
  • 中频电源:功率0~1000W 频率:40KHz
  • 流量范围:0~300SCCM
  • 外型尺寸:1000*1000*1600mm(长*宽*高)
  • 腔体内部尺寸:450*450*490mm(宽*高*深)
  • 电极板有效尺寸:380*380mm(宽*深)
  • 空间间距:23mm
  • 双极旋片泵:40m³/h
  • 工作空间:2层6格
  • 工作托盘:标配一套,材质可选(铝材,钢丝网)
  • 产品净重:168KG
  • 厚度:25mm
  • 系统控制:PLC 7寸触控屏

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