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真空等离子清洗机
真空等离子清洗机
KZ-ZK100真空等离子清洗机是一款专为小批量样品表面改性处理,实现 清洁、改性、刻蚀的功效,具有移动方便,多种配置功能、稳定性及操 作方便的优势。
咨询热线:
136-5250-9628
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商品介绍
射频电源:
功率:0~600W 频率:13.56MHz
中频电源:
功率0~1000W 频率:40KHz
流量范围:
0~300SCCM
外型尺寸:
1000*1000*1600mm(长*宽*高)
腔体内部尺寸:
450*450*490mm(宽*高*深)
电极板有效尺寸:
380*380mm(宽*深)
空间间距:
23mm
双极旋片泵:
40m³/h
工作空间:
2层6格
工作托盘:
标配一套,材质可选(铝材,钢丝网)
产品净重:
168KG
厚度:
25mm
系统控制:
PLC 7寸触控屏
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