等离子的工做原理?
作者:小编
更新时间:2022-08-08
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(1)化学作用:在化学反应里常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、四氟化碳(CF4)等,这些气体在电浆内反应成高活性的自由基,这些自由基会与材料表面进行化学作用,打断材料表面分子键链。
(2)物理作用:等离子体轰击材料表面时,除了将自身的能量传递给材料表层分子外,还可能引起表面刻蚀,使表面吸附的气体或其他物质的分子发生解析;部分粒子也可能发生自溅射,一些粒子特别是电子、亚稳态粒子有可能贯穿材料内部,贯穿深度可达5~50nm;材料内部分子受撞击后,引起电子层受激发产生电子跃迁,同时引起溅射和辐射;浅表层的电子也可能逃逸到材料表面以外的空间。通过物理轰击打断材料表面键链从而改变材料表面的性质。