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真空等离子清洗机
KZ-ZK100真空等离子清洗机是一款专为小批量样品表面改性处理，实现 清洁、改性、刻蚀的功效，具有移动方便，多种配置功能、稳定性及操 作方便的优势。
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详情说明
  • 射频电源：功率：0~600W 频率:13.56MHz
  • 中频电源：功率0~1000W 频率：40KHz
  • 流量范围：0~300SCCM
  • 外型尺寸：1000*1000*1600mm(长*宽*高)
  • 腔体内部尺寸：450*450*490mm(宽*高*深)
  • 电极板有效尺寸：380*380mm(宽*深)
  • 空间间距：23mm
  • 双极旋片泵：40m³/h
  • 工作空间：2层6格
  • 工作托盘：标配一套，材质可选（铝材，钢丝网）
  • 产品净重：168KG
  • 厚度：25mm
  • 系统控制：PLC 7寸触控屏
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